发明名称 |
高流率的气体输送 |
摘要 |
本发明针对一种以高流率输送液化压缩气的方法,包括:将液化压缩的高纯度半导体气送入贮存罐;将温度测量装置设置在压缩气贮存罐壁上;将至少一个加热装置放置在贮存罐附近;通过温度测量装置监测所产生的温度;将压力测量装置放置在贮存罐的出口处并监测贮存罐压力;调节加热装置的热量输出,以便加热贮存罐中的液化压缩气,从而控制贮存罐中液化压缩气的蒸发;以及控制来自贮存罐的气体的流量。 |
申请公布号 |
CN1330902C |
申请公布日期 |
2007.08.08 |
申请号 |
CN01822970.0 |
申请日期 |
2001.12.19 |
申请人 |
普莱克斯技术有限公司 |
发明人 |
A·潘特;M·理查森;M·勒斯纳 |
分类号 |
F17C7/04(2006.01);F17C9/02(2006.01);F25J1/00(2006.01) |
主分类号 |
F17C7/04(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
杨凯;梁永 |
主权项 |
1.一种用于控制贮存罐中液化压缩气的温度的方法,包括:a.将液化压缩气送入贮存罐;b.将温度测量装置设置在所述压缩气贮存罐的内壁上;c.将至少一个加热装置放置在所述贮存罐附近;d.通过所述温度测量装置监测所述贮存罐内所述压缩气的温度;以及e.调节所述加热装置的输出以加热所述贮存罐中的所述液化压缩气。 |
地址 |
美国康涅狄格州 |