发明名称 CAPACITANCE MANOMETER HAVING A RELATIVELY THICK FLUSH DIAPHRAGM UNDER TENSION TO PROVIDE LOW HYSTERESIS
摘要
申请公布号 EP1606601(A4) 申请公布日期 2007.08.08
申请号 EP20040757831 申请日期 2004.03.17
申请人 HORIBA STEC, INC. 发明人 FERRAN, ROBERT, J.;ROHRBACH, DANIEL, M.;OSWALD, MICHAEL
分类号 G01L9/00;G01L9/12;H01L;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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