发明名称 一种具有自动监控调节功能的TFT-LCD激光维修系统
摘要 本发明公开了一种具有自动监控与调节功能的TFT-LCD激光维修系统,包括:激光器:衰减器、光束孔径控制器件和光束输出单元,在光束输出单元的前端设置有具有反馈功能的控制单元。其中控制单元包括激光能量测量及记录存储功能模块;控制算法的功能实现模块;运算结果输出功能模块;受控对象的信息接受功能模块。本发明通过增加反馈回路及其相关部件,能够对激光系统各个部件的稳定性和精确性进行自发调节。
申请公布号 CN101013207A 申请公布日期 2007.08.08
申请号 CN200710063657.2 申请日期 2007.02.07
申请人 京东方科技集团股份有限公司 发明人 高浩然
分类号 G02F1/13(2006.01);G05B13/00(2006.01);G05B19/00(2006.01) 主分类号 G02F1/13(2006.01)
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 代理人 刘芳
主权项 1、一种具有自动监控与调节功能的TFT-LCD激光维修系统,包括:激光器:衰减器、光束孔径控制器件和光束输出单元,其特征在于:在所述光束输出单元的前端设置有具有反馈功能的控制单元。
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