供应系统

摘要

本发明公开了一种供应系统，其包括有依序连接的供应装置、缓冲容器、储存容器、过滤模块及出口，以及连接于缓冲容器与过滤模块之间的回收管路。供应装置所提供的溶液经由缓冲容器和储存容器流至过滤模块，过滤后的溶液由出口排出，而过滤模块所过滤出的溶液由回收管路回收至缓冲容器，以再次利用。

主权项

1.一种供应系统，包含：供应装置，用以提供溶液；缓冲容器，连接于该供应装置；储存容器，连接于该缓冲容器；过滤模块，连接于该储存容器，用以过滤该溶液；出口，连接于该过滤模块，用以排出该溶液；及回收管路，连接该过滤模块与该缓冲容器，以将该过滤模块所过滤出的该溶液回收至该缓冲容器。