发明名称 VACUUM PROCESSING CHAMBER FOR VERY LARGE AREA SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1815493(A1) 申请公布日期 2007.08.08
申请号 EP20050803234 申请日期 2005.11.23
申请人 OC OERLIKON BALZERS AG 发明人 AING, PHANNARA;DELAUNAY, LAURENT;JOST, STEPHAN;ELYAAKOUBI, MUSTAPHA
分类号 H01J37/32;C23C16/458;C23C16/509 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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