发明名称 EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE PRODUCING METHOD
摘要
申请公布号 EP1705695(A4) 申请公布日期 2007.08.08
申请号 EP20050703467 申请日期 2005.01.12
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 TSUJI, TOSHIHIKO;SHIRAISHI, KENICHI;NAGASAKA, HIROYUKI;NAKANO, KATSUSHI
分类号 H01L21/027;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址