连体蛇形弹簧微型惯性电学开关

摘要

一种连体蛇形弹簧微型惯性电学开关，属于微机电系统技术领域。本发明包括：质量块电极、多孔梁固定电极、连体蛇形弹簧、绝缘衬底、缓冲层、弹簧支撑座以及梁支撑座；缓冲层位于绝缘衬底上方、质量块电极下方，弹簧支撑座以及梁支撑座固定在绝缘衬底上、位于质量块电极周围，连体蛇形弹簧与质量块电极相连，并被弹簧支撑座悬空，多孔梁固定电极被梁支撑座悬空、位于质量块电极上方、与质量块电极之间有间隙。本发明增进了带有连体蛇形弹簧质量块在外界加速度作用下运动的协调性，对质量块电极的高速反弹起到了很好的缓冲作用，同时也很好地改善了质量块电极与挡板电极间的接触效果。

主权项

1、一种连体蛇形弹簧微型惯性电学开关，包括：质量块电极、多孔梁固定电极、绝缘衬底、弹簧支撑座以及梁支撑座，其特征在于，还包括：连体蛇形弹簧、缓冲层，缓冲层位于绝缘衬底上方、质量块电极下方，弹簧支撑座以及梁支撑座固定在绝缘衬底上、位于质量块电极周围，连体蛇形弹簧与质量块电极相连，并被弹簧支撑座悬空，多孔梁固定电极被梁支撑座悬空、位于质量块电极上方、与质量块电极之间有间隙。