处理系统

摘要

通过LAN 9将CVD设备31、扩散设备33等多台处理设备3；测定设备5；以及管理周的控制计算机7进行连接。各处理设备3存储用于进行处理的控制信息。控制计算机7也存储各处理设备3的控制信息。控制计算机7使各处理设备3实施校正用的处理过程。控制计算机7从测定设备5接受校正对象的处理设备3的处理结果，并根据处理结果校正自己存储的控制信息。在校正处理完成后控制计算机7将校正了的控制信息发送至处理设备3。处理设备3保存校正了的控制信息，在下次处理中使用。

主权项

1、一种处理系统，其特征在于：具备：多台处理设备，各处理设备分别具有对被处理体进行处理的处理装置；存储控制信息的存储装置，所述控制信息用于控制上述处理装置的过程参数或数学模型；根据上述控制信息对上述处理装置进行控制的控制装置；以及计算机，它是独立于上述多台处理设备而设置的，被构成为可以经通信媒体在它与上述各处理设备之间进行包含上述控制信息的信息的通信的计算机，并具有根据输入到该计算机中的、上述处理设备对被处理体的处理结果对用于控制该处理设备的上述控制信息进行校正的校正装置。