发明名称 Trench isolation methods of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100746223(B1) 申请公布日期 2007.08.03
申请号 KR20050084254 申请日期 2005.09.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/205 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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