摘要 |
Ein Infrarotsensor 100 umfasst ein Substrat 10, das einen Hohlraum 11, eine Membran 13, welche den Hohlraum 11 überspannt, ein Sensorelement für infrarotes Licht vom Thermosäulentyp, einen Absorptionsfilm 30 für infrarotes Licht, der über der Membran 13 passend zu Positionen heißer Verbindungen 20c der Thermosäule angeordnet ist, und eine Reflexionsschicht 40 für infrarotes Licht, die über dem Substrat 10 angeordnet ist, um einen Bereich abzuschirmen, der nicht durch den Absorptionsfilm 30 für infrarotes Licht abgedeckt ist. Die Abdeckung durch die Reflexionsbeschichtung 40 für infrarotes Licht ist ausreichend, um ein nicht durch den Absorptionsfilm 30 für infrarotes Licht abgedecktes Gebiet abzuschirmen, um die Erfassungsempfindlichkeit des Sensors zu erhöhen.
|