发明名称 |
Apparatus for Use in Vacuum Deposition of Thin Films |
摘要 |
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申请公布号 |
GB1179413(A) |
申请公布日期 |
1970.01.28 |
申请号 |
GB19660006920 |
申请日期 |
1966.02.17 |
申请人 |
BARR AND STROUD LIMITED |
发明人 |
JOHN RUPERT DAVY;JOHN MCKILLOP BALLANTINE;WILLIAM BELL ALLAN;HERBERT MORRISON RUNCIMAN |
分类号 |
C23C14/54;G01N21/84;G02B1/10;G02B6/04;G02B6/42 |
主分类号 |
C23C14/54 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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