发明名称 Apparatus for Use in Vacuum Deposition of Thin Films
摘要
申请公布号 GB1179413(A) 申请公布日期 1970.01.28
申请号 GB19660006920 申请日期 1966.02.17
申请人 BARR AND STROUD LIMITED 发明人 JOHN RUPERT DAVY;JOHN MCKILLOP BALLANTINE;WILLIAM BELL ALLAN;HERBERT MORRISON RUNCIMAN
分类号 C23C14/54;G01N21/84;G02B1/10;G02B6/04;G02B6/42 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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