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Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Aufbereiten bzw. Bearbeiten von Siliziummaterial (3) zur Durchführung eines Reinigungsprozesses mit den Schritten: Benetzen von Siliziummaterial (3), das in einer ersten räumlichen Orientierung ausgerichtet ist, mit einem ersten, flüssigen Prozessmedium (7), automatisierte Änderung der Orientierung des Siliziummaterials (3) mittels einer Wendeeinrichtung, Benetzen des Siliziummaterials (3) in der geänderten Orientierung mit dem ersten, flüssigen Prozessmedium (7).
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