发明名称 Herstellungsverfahren für integrierten Schaltkreis
摘要
申请公布号 DE60121685(T2) 申请公布日期 2007.08.02
申请号 DE20016021685T 申请日期 2001.08.17
申请人 AGERE SYSTEMS GUARDIAN CORP. 发明人 KRUTSICK, THOMAS J
分类号 H01L21/3205;H01L29/8605;H01L21/329;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L29/06 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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