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发明名称 Probenvorverarbeitungsvorrichtung zur Röntgenfluoreszenzanalyse und Röntgenfluoreszenzspektrometervorrichtung
摘要
申请公布号 DE10242896(B4) 申请公布日期 2007.08.02
申请号 DE2002142896 申请日期 2002.09.16
申请人 RIGAKU INDUSTRIAL CORPORATION 发明人 IKESHITA, AKIHIRO;YAMAGAMI, MOTOYUKI
分类号 G01N1/28;G01N1/00;G01N1/40;G01N23/223;H01L21/66 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
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