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发明名称 VENTIL FÜR VAKUUMENTLADUNGSSYSTEM
摘要
申请公布号 DE602004005829(T2) 申请公布日期 2007.08.02
申请号 DE200460005829T 申请日期 2004.02.09
申请人 OHMI, TADAHIRO;FUJIKIN INC. 发明人 OHMI, TADAHIRO;IKEDA, NOBUKAZU;YAMAJI, MICHIO;KITANO, MASAFUMI;MORIMOTO, AKIHIRO
分类号 F16K7/12;H01L21/205;F16K7/14;F16K27/00;F16K51/02 主分类号 F16K7/12
代理机构 代理人
主权项
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