| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINES SUBSTRATES MIT EINER OZONE-LÖSUNGSMITTEL LÖSUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60035288(D1) |
申请公布日期 |
2007.08.02 |
| 申请号 |
DE20006035288 |
申请日期 |
2000.10.19 |
| 申请人 |
PHIFER SMITH CORP. |
发明人 |
BOYERS, DAVID G.;CREMER, JAY THEODORE |
| 分类号 |
B08B7/00;C03C23/00;B08B3/00;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/14;B08B9/00;B08B9/20;C23G1/00;C23G1/02;F23J1/00;G03F7/42;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/311;H01L21/3213 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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