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发明名称
摘要
申请公布号
JP2007521630(A)
申请公布日期
2007.08.02
申请号
JP20050507461
申请日期
2003.12.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/768;G11C8/08;H01L21/28;H01L23/522
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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