石英片固定治具

摘要

一种石英片固定治具，主要是由主框片、间隔片、副框片及数个夹持片所构成，该主框片、间隔片及副框片形状大致相同并依序堆叠在一起，该数夹持片夹持于前述堆叠后之结构周围并将之固定，而该主框片为一较薄金属片，该间隔片厚度则与欲固定之石英片尺寸相同，藉此使不同厚度之石英片在更换适当之间隔片的情形下，皆可固定于主框片与副框片夹持后之空间，以利石英片的电镀工作及后续的清洗作业。