矽线之制备方法

摘要

本发明提供一种矽线之制备方法，其藉由铜作为催化剂制备矽线，该方法包括以下步骤：提供一基底；于基底上引入铜作为催化剂；以及将带有铜催化剂之基底置于高温反应炉中并充入反应气体及惰性保护气体一并加热以生成矽线。藉由铜催化剂生长矽线，制备过程中所需之反应温度较低，制备原料及反应设备均采用半导体工厂之标准配置且铜材料的价格较低，故而制备成本较低。另，高性能之半导体器件中部分结构由铜材料制成，引入铜催化剂制备矽线对半导体器件污染较小因而可广泛应用于光学、电子等半导体领域。