| 主权项 |
1.一种微流体驱动装置,系用以驱动一工作流体,包 含: 一第一致动腔室,具有一第一容置空间及连通于该 第一容置空间之一第一开口,该工作流体充填于该 第一容置空间,该第一容置空间系可变形以驱动该 工作流体进出该第一开口; 一第一压电致动器,邻设于该第一致动腔室,用以 施力使该第一容置空间变形; 一第二致动腔室,具有该第二容置空间及连通于该 第二容置空间之该第二开口,该工作流体充填于该 第二容置空间,该第二容置空间系可变形以驱动该 工作流体进出该第二开口; 一第二压电致动器,邻设于该第二致动腔室,用以 施力使该第二容置空间变形;及 一微流道,系连接该第一容置空间与该第二容置空 间,该工作流体可通过该微流道流通于该第一容置 空间与该第二容置空间。 2.如申请专利范围第1项所述之微流体驱动装置,其 中该第一压电致动器与该第二压电致动器系具有 一相位差。 3.如申请专利范围第2项所述之微流体驱动装置,其 中该相位差为90度。 4.如申请专利范围第2项所述之微流体驱动装置,其 中该相位差为270度。 5.如申请专利范围第1项所述之微流体驱动装置,其 中该第一开口与第二开口所通过之该工作流体的 体积流率不同于通过该微流道之体积流率。 6.如申请专利范围第1项所述之微流体驱动装置,其 中该第一开口为锥状开口结构。 7.如申请专利范围第1项所述之微流体驱动装置,其 中该微流道为锥状开口结构。 8.如申请专利范围第1项所述之微流体驱动装置,其 中该第二开口为锥状开口结构。 图式简单说明: 第1图为本发明实施例的示意图; 第2图系模拟本发明实施例之相位差与运作流量的 对应图; 第3A图系模拟本发明实施例之工作流体驱动示意 图; 第3B图为本发明实施例以第一开口及第二开口之 中心线为X轴的内部速度分布图;及 第4图系模拟另一相位差之本发明实施例之工作流 体驱动示意图。 |
