| 主权项 |
1.一种去光阻剂,包含10-70重量百分比之乙酸乙二 醇丁醚酯、10-80重量百分比之具有6-10个碳原子的 苯环化合物,及/或10-40重量百分比之酮系化合物。 2.依据申请专利范围第1项所述之去光阻剂,其中, 乙酸乙二醇丁醚酯之含量为20-60重量百分比,苯环 化合物之含量为10-70重量百分比,酮系化合物含量 为10-30重量百分比。 3.依据申请专利范围第2项所述之去光阻剂,其中, 乙酸乙二醇丁醚酯之含量为40-60重量百分比,苯环 化合物之含量为10-40重量百分比,酮系化合物含量 为20-30重量百分比。 4.依据申请专利范围第1至第3项中之任一项所述之 去光阻剂,其中,该苯环化合物是选自于下列化合 物所构成之群组:甲苯、乙苯、丙苯、二甲基苯、 二乙基苯、乙烯苯、丙烯苯、二乙烯苯、三甲基 苯,及其等之一组合。 5.依据申请专利范围第4项所述之去光阻剂,其中, 该苯环化合物是选自于下列化合物所构成之群组: 甲苯、乙苯、丙苯、二甲基苯、三甲基苯,及其等 之一组合。 6.依据申请专利范围第1至第3项中之任一项所述之 去光阻剂,其中,该酮系化合物是选自于下列化合 物所构成之群组:丙酮、丁酮、环己酮、甲基异丁 基酮,及其等之一组合。 7.依据申请专利范围第1至第3项中之任一项所述之 去光阻剂,是应用于清洗彩色滤光片之制程中所使 用的颜料分散型光阻剂。 8.依据申请专利范围第7项所述之去光阻剂,其中该 颜料分散型光阻剂为彩色负型光阻。 图式简单说明: 图1是一种蓝色颜料(Pigment Blue 15.6)之化学结构式; 图2是一种绿色颜料(Pigment Green 36)之化学结构式; 图3是一种红色颜料(Pigment Red 177)之化学结构式; 图4是涂布有彩色负型光阻R的试片经过本发明实 施例B1清洗后之彩色放大相片; 图5是涂布有彩色负型光阻R的试片经过本发明实 施例B4清洗后之彩色放大相片; 图6是涂布有彩色负型光阻R的试片经过本发明比 较例B1清洗后之彩色放大相片; 图7是涂布有彩色负型光阻G的试片经过本发明实 施例B2清洗后之彩色放大相片; 图8是涂布有彩色负型光阻G的试片经过本发明实 施例B5清洗后之彩色放大相片; 图9是涂布有彩色负型光阻G的试片经过本发明比 较例B2清洗后之彩色放大相片; 图10是涂布有彩色负型光阻B的试片经过本发明实 施例B3清洗后之彩色放大相片; 图11是涂布有彩色负型光阻B的试片经过本发明实 施例B6清洗后之彩色放大相片; 图12是涂布有彩色负型光阻B的试片经过本发明比 较例B3清洗后之彩色放大相片; 图13为本发明实施例C1之负型光阻R残渍表示图; 图14为本发明实施例C2之负型光阻R残渍表示图; 图15为本发明比较例C1之负型光阻R残渍表示图; 图16为本发明实施例C3之负型光阻G残渍表示图; 图17为本发明实施例C4之负型光阻G残渍表示图; 图18为本发明比较例C2之负型光阻G残渍表示图; 图19为本发明实施例C5之负型光阻B残渍表示图; 图20为本发明实施例C6之负型光阻B残渍表示图; 图21为本发明比较例C3之负型光阻B残渍表示图; 图22为本发明实施例C7之负型光阻BM残渍表示图; 图23为本发明实施例C8之负型光阻BM残渍表示图; 图24为本发明比较例C4之负型光阻BM残渍表示图;及 图25为本发明实施例D1、D2、D3及比较例D1之负型光 阻R及负型光阻G之重量剥除克数比较图。 |
