晶片检查系统和平移晶片的方法

摘要

一种检查晶片的方法和系统。该系统包括：夹具；包含可移动单元的机械手，该可移动单元与可卸式适配器连接，该可卸式适配器选自一组切割晶片的可卸式适配器和非切割晶片的可卸式适配器；其中切割晶片的可卸式适配器的形状，可部分地包围切割晶片，并包括至少一个适合对承载切割晶片的带子抽真空的真空凹槽；且其中的机械手，适合从盒中取出晶片并把晶片放置在夹具上。