图案曝光方法及图案曝光设备

摘要

以一工件传送速度V，在工件传送方向F中传送一具有感光层之带状工件。一照明部分以一已与该工件传送速度V同步化的曝光周期T来照射一光罩。该光罩配置在离该带状工件一接近间距处。在该带状工件上曝光于该光罩上的遮罩图案，以在上面形成一周期性图案。