| 发明名称 | 制造奈米碳管场效电晶体之方法 | ||
| 摘要 | 一种制造奈米碳管场效电晶体之方法，包括以下步骤：形成一图案化(patterned)导电层于一基板上；形成一介电层以覆盖该导电层以及该基板；在该介电层上，形成一奈米碳管层于一对电极之间；以及对该奈米碳管层进行一处理程序，使得该奈米碳管层为半导体型。 | ||
| 申请公布号 | TW200729354 | 申请公布日期 | 2007.08.01 |
| 申请号 | TW095145170 | 申请日期 | 2006.12.05 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 陈百宏;魏拯华;骆伯远;斐静伟 |
| 分类号 | H01L21/336(2006.01);B82B3/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/336(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 陈正益 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 | ||