电容器及其制造方法

摘要

本发明系提供一种具有可以于短焙烧时间形成、且高品质之介电质层之电容器及其制造方法。将处理装置100内之环境气体藉由气体供给源112等调节为例如氧环境等。使热处理装置101内之环境气体成为氧环境，将温度上升至特定程度。然后，以对晶圆W不会产生不良之速度，将形成有介电质前驱体层之晶舟161装载于热处理装置101内。装载后，使热处理装置101之反应管内上升至焙烧温度，进行特定时间之焙烧。在热处理装置101内冷却至特定程度后，在处理装置100内冷却至室温程度，搬出处理装置100外。并且，于焙烧形成于晶圆W上之介电质前驱体层之前，以较介电质前驱体层之溶剂之挥发温度高、且较介电质前驱体层之结晶化开始温度低之温度保持特定时间，以使残留溶剂蒸发。