| 摘要 |
本发明系提供一种不会产生擦痕或应力变形之导电性金属氧化物薄膜除去方法和装置。本发明之装置系具备：第1电极18，系配置成一端浸渍于电解液17中；第2电极13，以浸渍于加工槽16内电解液17之基材12的导电性金属氧化物薄膜11成为负极的方式，配置成一端浸渍于电解液17中，且该一端系和该金属氧化物薄膜11相对向；电源14，系以第2电极13成为正极、该第1电极成为负极的方式施加直流电压。施加直流电压于两电极13、18，并经还原反应将导电性金属氧化物薄膜11除去。藉由本发明，在不会产生擦痕或应力变形之下，可有效率地将导电性金属氧化物薄膜除去，而高价格的机能性玻璃基板等可再生利用。 |
