基板处理装置

摘要

本发明为一种基板处理装置，其特征为，于应从第2集群12返回第1集群10之晶圆101被传送至传递部PA时，第1集群10的真空搬送机器手臂RB1，系于维持使晶圆101在传递部PA中等待之状态下，优先执行第1集群10内的序列搬送。之后，真空搬送机器手臂RB1系于以一边的臂将下1片应从第1集群10送至第2集群12之晶圆104加以保持之状态下，藉由取放动作而以另一边的臂拉取位于传递部PA之晶圆101，并与此动作交替进行而以上述一边的臂将晶圆104传送至传递部PA。根据此顺序，系能够尽可能的提升使用有2个集群(多反应室装置)10、12的多数个制程模组之连续处理的处理量。