| 发明名称 |
氧化锌系透明导电膜之图案化方法 |
| 摘要 |
本发明系提供一种氧化锌系透明导电膜之图案化方法，其系调整氧化锌系透明导电膜的蚀刻速率，而可提升图案化特性。当藉由将以氧化锌作为主成分且含有从周期表第IV族元素中至少选择1种添加元素的氧化锌系透明导电膜予以蚀刻从而施行图案化之际，在施行上述蚀刻步骤之前，先将上述氧化锌系透明导电膜以水施行处理。 |
| 申请公布号 |
TW200729242 |
申请公布日期 |
2007.08.01 |
| 申请号 |
TW095148375 |
申请日期 |
2006.12.22 |
| 申请人 |
三井金属业股份有限公司 |
发明人 |
高桥诚一郎;田平泰规;高桥广己;宫下德彦;矢野智泰 |
| 分类号 |
H01B5/14(2006.01);H01B13/00(2006.01);C03C15/00(2006.01);H01L21/306(2006.01) |
主分类号 |
H01B5/14(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
