银导电膜及其制造法

摘要

本发明系提供一种可在非真空环境下且未达300℃的低温进行大面积制膜，具备有适合做为薄膜型太阳电池之背面电极侧的反射膜的纹样构造，低电阻且与基板之密着性良好的导电薄膜。一种银导电膜，系形成于基板上的银的薄膜，由平均粒径为DTEM100nm以下之银粒子所烧结的层所构成，具备有电阻率为5μΩCm以下，烧结层中的空孔比例为3个/μm2以下，且表面粗度Ra为10至100nm的纹样构造。具有上述纹样构造的银导电膜，可利用具有：将平均粒径DTEM；100nm以下的银粒子分散于沸点60至300℃之非极性或极性小的液状有机媒体的银粒子分散液涂布于基板上而形成涂膜，然后，将前述涂膜烧成以形成烧成膜的步骤的制造制程来制造。