新颖化合物,酸产生剂,增强化学型光阻组成物,光阻层层合体及光阻图型之形成方法

摘要

本发明系提供一种在365nm以上之长波长区域显示高的吸收且在365nm以上之长波长区域的感度高，对有机溶剂之溶解性亦优之化合物、由该化合物所构成之酸产生剂、含有该酸产生剂之增强化学型光阻组成物、使用该增强化学型光阻组成物之光阻层层合体及光阻图型之形成方法。如此之化合物系以下述通式(B1)所示。式(B1)中，R1、R2、R3之中至少一个系以下述通式(B1a)所示之基，式(B1a)中，Y系从芳香环除去二个氢原子之基，该芳香环系亦可具有取代基；Z系从芳香环除去一个氢原子之基，该芳香环系亦可具有取代基；Y及Z之中至少一者的芳香环为至少具有一个烷氧基