浅沟渠隔离结构之沟渠角缘圆化方法

摘要

本发明提供一种浅沟渠隔离结构之沟渠角缘圆化方法，此方法首先于一矽基材上形成一沟渠；接着，以纯氢气对沟渠表面进行退火；最后，氧化已退火之沟渠表面，以形成一衬底氧化层。