| 发明名称 |
正型感光性树脂组成物 |
| 摘要 |
若根据本发明，则提供相对于具有一个或二个以上之四羧酸二酐、和相互邻位具有胺基及酚性羟基之一个或二个以上之芳香族二胺，为脱水缩合构造的(A)缩聚物100质量份，含有(B)感光性重氮化合物1~100质量份，且(A)缩聚物的重量平均分子量为3000~70000的感光性树脂组成物。 |
| 申请公布号 |
TW200728909 |
申请公布日期 |
2007.08.01 |
| 申请号 |
TW095132603 |
申请日期 |
2006.09.04 |
| 申请人 |
旭化成电子材料元件股份有限公司;PI技术研究所股份有限公司 |
发明人 |
金田隆行;花博之;金行洲;周三 |
| 分类号 |
G03F7/022(2006.01);G03F7/037(2006.01);G03F7/004(2006.01);G03F7/26(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/022(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
