铪系化合物、铪系薄膜形成材料以及铪系薄膜形成方法

摘要

本发明系提供，常温为液体，然而富于安定性，可进行原料的安定供给，可安定地形成高品质的铪系薄膜之技术。一种铪系薄膜形成材料，其系以下述通式[I]所示化合物：通式[I]：LHf(NR1R2)3其中，L为环戊二烯基或取代环戊二烯基，R1、R2为烷基，R1与R2可互相不同亦可相同。