发明名称 导电性多孔质材料、使用该材料之树脂成形模具、及导电性多孔质材料的制造方法
摘要 本发明之导电性多孔质材料包含具有氧化物之烧结体之基材;形成于基材上且具微小孔径并具有对气体之透过性及对气体以外物质之不透过性的连通孔;及形成于连通孔内壁且可藉电流流动而发热之导电层。由于使用导电性材料,有机物会附着于连通孔之内壁上,但是,藉由使导电层发热可以分解且除去附着于连通孔内壁上之有机物,如此,可防止连通孔阻塞。
申请公布号 TWI284634 申请公布日期 2007.08.01
申请号 TW094102508 申请日期 2005.01.27
申请人 TOWA股份有限公司;财团法人精细陶瓷中心 发明人 久野孝希;前田启司;野口欣纪;北冈谕;川岛直树
分类号 C04B35/01(2006.01);B29C33/38(2006.01);H01L21/56(2006.01);C04B38/00(2006.01) 主分类号 C04B35/01(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 1.一种导电性多孔质材料,包含: 基材,具有氧化物之烧结体; 连通孔,系形成于前述基材上,且具有微小的孔径, 并且具有对气体之透过性及对气体以外物质之不 透过性者;及 导电层,系形成于前述连通孔之内壁,且可藉由电 流流动而发热者。 2.如申请专利范围第1项之导电性多孔质材料,其中 前述导电层具有碳化物、氮化物及硼化物中至少 一种。 3.如申请专利范围第1或2项之导电性多孔质材料, 其中前述连通孔系藉由因前述氧化物与其他物质 之反应所生成之气体流出而形成者。 4.一种具导电性多孔质材料之树脂成形模具,系于 流动性树脂填充于模穴之状态下藉由前述流动性 树脂硬化而形成成形体时所使用者,且该树脂成形 模具包含有: 基材,具有氧化物之烧结体; 连通孔,系形成于前述基材上,且具有微小的孔径, 并且具有对气体之透过性及对气体外物质之不透 过性,以于前述树脂成形模具之模具面上形成开口 者;及 导电层,系形成于前述连通孔之内壁,且可藉由电 流流动而发热。 5.如申请专利范围第4项之具导电性多孔质材料之 树脂成形模具,其中前述导电层具有碳化物、氮化 物及硼化物中至少一种。 6.如申请专利范围第4项之具导电性多孔质材料之 树脂成形模具,其中前述连通孔系藉由因前述氧化 物与其他物质之反应所生成之气体流出而形成者 。 7.如申请专利范围第4项之具导电性多孔质材料之 树脂成形模具,更包含藉由于前述导电性多孔质材 料上流动电流使前述导电层发热之电流生成部,及 用以控制前述电流生成部之控制部,又,前述控制 部控制前述电流生成部,使前述导电性多孔质材料 达到使前述流动性树脂硬化的温度,或使附着于前 述连通孔之内壁上的物质蒸发的温度。 8.一种导电性多孔质材料之制造方法,且前述导电 性多孔质材料包含: 基材,具有氧化物之烧结体; 连通孔,系形成于前述基材上,且具有微小的孔径, 并且具有对气体之透过性及对气体外物质之不透 过性;及 导电层,系形成于前述连通孔之内壁,且可藉由电 流流动而发热, 又,该导电性多孔质材料之制造方法包含下列步骤 : 产生步骤,系将前述氧化物和含有碳及硼中至少一 种的物质以预定比例混合,以产生混合物; 乾燥步骤,系将前述混合物乾燥; 成粒步骤,系使乾燥后之前述混合物成粒; 成形步骤,系使成粒后之前述混合物成形;及 烧成步骤,系于减压之气体环境中,或于受控制之 氮气环境中烧成成形后之前述混合物, 且于前述烧成步骤中,藉由因前述氧化物与其他物 质之反应所生成之气体流出而形成前述连通孔,且 于前述反应时藉由于前述连通孔之内壁上附着导 电性物质而形成前述导电层。 图式简单说明: 第1图系显示实施之态样中导电性多孔质材料的示 意截面图; 第2图系显示使用第1图所示之导电性多孔质材料 之树脂成形模具的示意截面图; 第3图系模式地显示使用第1图所示之导电性多孔 质材料之树脂成形模具的变形例的示意图; 第4图系模式地显示第3图所示之树脂成形模具喷 出成形体状态的示意截面图; 第5图系显示实施态样中导电性多孔质材料之原料 的示意截面图; 第6图系显示利用第5图所示之原料所制造出之导 电性多孔质材料的示意截面图;及 第7图系说明实施态样中导电性多孔质材料之制造 方法的流程图。
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