| 主权项 |
1.一种改善物料搬运效率的方法,其使用于一半导 体制造系统,其中上述半导体制造系统至少包括一 监控程式、一制造执行系统、一制程机台、以及 一缓冲仓储中之一预留储位,包括下列步骤: 定义一预约计数値与一仓储计数値; 上述监控程式检查上述预约计数値与上述仓储计 数値; 当上述预约计数値为一既定値且上述仓储计数値 为该既定値时,上述制造执行系统将存放在上述预 留储位之一在制品载入到上述制程机台; 将上述预约计数値与上述仓储计数値分别加1; 当上述预约计数値为该既定値且上述仓储计数値 大于该既定値时,上述制造执行系统将一在制品载 入到上述制程机台; 将上述预约计数値加1; 当上述预约计数値大于该既定値时,上述制造执行 系统预约一在制品;以及 将上述在制品搬运到上述制程机台。 2.如申请专利范围第1项所述的改善物料搬运效率 的方法,其中,上述操作步骤系执行于上述制程机 台正执行一制程操作时。 3.如申请专利范围第2项所述的改善物料搬运效率 的方法,其中,上述预约计数値与上述仓储计数値 之初始値大于该既定値。 4.如申请专利范围第3项所述的改善物料搬运效率 的方法,其中,当上述制程机台并无执行任何制程 操作且上述预约计数値为该既定値时,上述监控程 式不执行任何操作。 5.如申请专利范围第4项所述的改善物料搬运效率 的方法,其中,当上述制程机台并无执行任何制程 操作且上述预约计数値大于该既定値时,上述监控 程式令上述制造执行系统执行一预先预约操作。 6.如申请专利范围第5项所述的改善物料搬运效率 的方法,其中,当上述制造执行系统执行上述预先 预约操作时,将上述预约计数値减1。 7.如申请专利范围第6项所述的改善物料搬运效率 的方法,其中,该既定値为0。 8.如申请专利范围第3项所述的改善物料搬运效率 的方法,其中,当上述制造执行系统将一在制品搬 运到上述预留储位时,将上述仓储计数値减1。 9.一种制造系统,其用以执行使用一改善物料搬运 效率方法之一制造流程且至少包括一监控程式、 一制造执行系统、一制程机台、以及一缓冲仓储 内之一预留储位,上述改善物料搬运效率的方法包 括下列步骤: 定义一预约计数値与一仓储计数値; 上述监控程式检查上述预约计数値与上述仓储计 数値; 当上述预约计数値为一既定値且上述仓储计数値 为该既定値时,上述制造执行系统将存放在上述预 留储位之一在制品载入到上述制程机台; 将上述预约计数値与上述仓储计数値分别加1; 当上述预约计数値为该既定値且上述仓储计数値 大于该既定値时,上述制造执行系统将一在制品载 入到上述制程机台; 将上述预约计数値加1; 当上述预约计数値大于该既定値时,上述制造执行 系统预约一在制品;以及 将上述在制品搬运到上述制程机台。 10.如申请专利范围第9项所述的制造系统,其中,上 述操作步骤系执行于上述制程机台正执行一制程 操作时。 11.如申请专利范围第10项所述的制造系统,其中,上 述预约计数値与上述仓储计数値之初始値大于该 既定値。 12.如申请专利范围第11项所述的制造系统,其中,当 上述制程机台并无执行任何制程操作且上述预约 计数値为该既定値时,上述监控程式不执行任何操 作。 13.如申请专利范围第12项所述的制造系统,其中,当 上述制程机台并无执行任何制程操作且上述预约 计数値大于该既定値时,上述监控程式令上述制造 执行系统执行一预先预约操作。 14.如申请专利范围第13项所述的制造系统,其中,当 上述制造执行系统执行上述预先预约操作时,将上 述预约计数値减1。 15.如申请专利范围第14项所述的制造系统,其中,该 既定値为0。 16.如申请专利范围第11项所述的制造系统,其中,当 上述制造执行系统将一在制品搬运到上述预留储 位时,将上述仓储计数値减1。 17.一种储存媒体,用以储存一电脑程式,上述电脑 程式包括复数程式码,其用以载入至一电脑系统中 并且使得上述电脑系统执行一种改善物料搬运效 率的方法,上述方法包括下列步骤: 定义一预约计数値与一仓储计数値; 上述监控程式检查上述预约计数値与上述仓储计 数値; 当上述预约计数値为一既定値且上述仓储计数値 为该既定値时,上述制造执行系统将存放在上述预 留储位之一在制品载入到上述制程机台; 将上述预约计数値与上述仓储计数値分别加1; 当上述预约计数値为该既定値且上述仓储计数値 大于该既定値时,上述制造执行系统将一在制品载 入到上述制程机台; 将上述预约计数値加1; 当上述预约计数値大于该既定値时,上述制造执行 系统预约一在制品;以及 将上述在制品搬运到上述制程机台。 18.如申请专利范围第17项所述的储存媒体,其中,上 述操作步骤系执行于上述制程机台正执行一制程 操作时。 19.如申请专利范围第18项所述的储存媒体,其中,上 述预约计数値与上述仓储计数値之初始値大于该 既定値。 20.如申请专利范围第19项所述的储存媒体,其中,当 上述制程机台并无执行任何制程操作且上述预约 计数値为该既定値时,上述监控程式不执行任何操 作。 21.如申请专利范围第20项所述的储存媒体,其中,当 上述制程机台并无执行任何制程操作且上述预约 计数値大于该既定値时,上述监控程式令上述制造 执行系统执行一预先预约操作。 22.如申请专利范围第21项所述的储存媒体,其中,当 上述制造执行系统执行上述预先预约操作时,将上 述预约计数値减1。 23.如申请专利范围第22项所述的储存媒体,其中,该 既定値为0。 24.如申请专利范围第19项所述的储存媒体,其中,当 上述制造执行系统将一在制品搬运到上述预留储 位时,将上述仓储计数値减1。 图式简单说明: 第1图系显示传统半导体制造系统的架构示意图。 第2图系显示晶圆在制程机台与缓冲仓储间搬运之 关系示意图。 第3图系显示本发明实施例之半导体制造系统之制 造流程的工作流程示意图。 第4图系显示本发明实施例之预留储位与制程机台 间之关系示意图。 第5图系显示本发明实施例之改善物料搬运效率方 法的步骤流程图。 |
