发明名称 PLANARISING DAMASCENE STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP1812963(A1) 申请公布日期 2007.08.01
申请号 EP20050798172 申请日期 2005.11.02
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 NGUYENHOANG, VIET;VERHEIJDEN, GREJA, J., A., M.
分类号 H01L21/321;H01L21/768 主分类号 H01L21/321
代理机构 代理人
主权项
地址