人造视网膜神经柔性阵列微电极芯片及其制造方法

摘要

本发明涉及一种人造视网膜神经柔性阵列微电极芯片及其制造方法，以聚对二甲苯为柔性基底，采用微机电系统加工工艺，制备出由若干个微电极敏感元排列构成的微电极阵列，并将微电极阵列与微电缆引线、引线接点、转接口等部分合成，构成一个人造视网膜神经柔性阵列微电极芯片。这种视网膜芯片集成体用于植入眼内，与视神经对接，传输电信息，刺激视神经从而达到恢复视觉功能。本发明采用聚对二甲苯为柔性电极基底，其具有的阻抗低、相位延迟小、力学性能优异的特性，可最大限度减少对神经组织在电信号刺激过程中引起的热损伤。长期置于眼内，通过该芯片直接电刺激视网膜，产生理想视觉的潜力较大，而且长期稳定性好。

主权项

1、一种人造视网膜神经柔性阵列微电极芯片，其特征在于由柔性基底(1)、微电极敏感元(2)、金属引线层(3)、引线接点(4)、电缆引线(5)及转接口(6)构成；所述柔性基底(1)的材料为聚对二甲苯，柔性基底(1)上，由若干个由Ti/Pt复合金属材料构成的微电极敏感元(2)排列成微电极阵列，每个微电极敏感元(2)引出的金属引线层(3)连接到引线接点(4)，最后经由电缆引线(5)连接到转接口(6)。