发明名称 METHOD OF FORMING STRAINED SI/SIGE ON INSULATOR WITH SILICON GERMANIUM BUFFER
摘要
申请公布号 EP1779422(A4) 申请公布日期 2007.08.01
申请号 EP20050713741 申请日期 2005.02.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHEN, HUAJIE;BEDELL, STEPHEN, W.
分类号 H01L21/76;H01L21/205;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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