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发明名称
METHOD OF FORMING STRAINED SI/SIGE ON INSULATOR WITH SILICON GERMANIUM BUFFER
摘要
申请公布号
EP1779422(A4)
申请公布日期
2007.08.01
申请号
EP20050713741
申请日期
2005.02.16
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
CHEN, HUAJIE;BEDELL, STEPHEN, W.
分类号
H01L21/76;H01L21/205;H01L21/762
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
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