| 发明名称 |
FORMATION OF SILICON NANOSTRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1628908(A4) |
申请公布日期 |
2007.08.01 |
| 申请号 |
EP20040707340 |
申请日期 |
2004.02.02 |
| 申请人 |
INSTITUTE OF GEOLOGICAL & NUCLEAR SCIENCES LIMITED |
发明人 |
MARKWITZ, ANDREAS |
| 分类号 |
B81C1/00;B82B3/00;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/324 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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