| 发明名称 |
Particle optical lensassembly and method using such a lens assembly |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1239510(B1) |
申请公布日期 |
2007.08.01 |
| 申请号 |
EP20020004543 |
申请日期 |
2002.02.27 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
WEICKENMEIER, ANDREAS, DR. |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/317;G02B7/28;H01J37/10;H01J37/147;H01J37/153;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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