无阀微泵及其封装方法

摘要

本发明提供的是无阀微泵及其封装方法。首先制作好微泵泵体，在泵体的腔体处同心地放置一个环形密封弹性垫，在环形密封弹性垫上同心地放好压电陶瓷蜂鸣片，压电陶瓷蜂鸣片的PZT面朝腔体外，在压电陶瓷蜂鸣片上同心放置一个金属环，使用夹具将各零部件自上而下地压紧，然后，用密封树脂胶将金属环至泵体的各零部件进行胶接、固化。本发明具有密封性能好、工作稳定、可靠性高、便于批量生产等优点。本发明的产品可广泛应用于可用于微型飞机、微型航天器发动机的推进控制，以及微化学分析、生物医药等领域。

主权项

1、一种无阀微泵，它包括泵体和压电陶瓷蜂鸣片，其特征是：在泵体与压电陶瓷蜂鸣片之间有一个同心环形密封弹性垫，在压电陶瓷蜂鸣片上面同心设置一个金属环，在环形密封弹性垫、压电陶瓷蜂鸣片以及金属环外有密封粘接树脂胶。