POLYCRYSTALLINE SILICON GERMANIUM FILMS FOR FORMING MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS,申请号EP20000911583-传众专利搜索

发明名称	POLYCRYSTALLINE SILICON GERMANIUM FILMS FOR FORMING MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS
摘要
申请公布号	EP1173893(A4)	申请公布日期	2007.08.01
申请号	EP20000911583	申请日期	2000.01.14
申请人	THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA	发明人	FRANKE, ANDREA;HOWE, ROGER, T.;KING, TSU-JAE
分类号	B81C1/00;B81B3/00;H01L21/3205;H01L21/8238;H01L23/52;H01L27/092;H03H9/24;(IPC1-7):H01L31/031;H01L29/73;C25D5/02	主分类号	B81C1/00
代理机构		代理人
主权项
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