| 发明名称 |
加热装置及采用该加热装置的真空镀膜设备 |
| 摘要 |
本发明涉及一种加热装置及采用该加热装置的真空镀膜设备。该加热装置包括至少一灯管、一可旋转的反射罩及一控制该反射罩旋转方向的外置控制器，该灯管位于工件的一侧，该反射罩位于灯管远离工件的一侧，其具有一聚焦反射面，该聚焦反射面朝向该灯管。采用本发明加热装置的真空镀膜设备镀膜均匀性高，且加热待镀工件的速率快。 |
| 申请公布号 |
CN101008074A |
申请公布日期 |
2007.08.01 |
| 申请号 |
CN200610033479.4 |
申请日期 |
2006.01.24 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
简士哲 |
| 分类号 |
C23C14/28(2006.01);H05B3/02(2006.01);F21V3/00(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/28(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
1.一种加热装置，用于加热工件，该加热装置包括至少一灯管，其位于工件的一侧，其特征在于：该加热装置还包括一可旋转的反射罩与一控制该反射罩旋转方向的外置控制器，该反射罩位于灯管远离工件的一侧，其具有一聚焦反射面，该聚焦反射面朝向该灯管。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
