用以检测具有显微导体的图样成型装置的检测系统及方法

摘要

一种用以检视具有显微导体的图样成型装置的检视系统，包含：照相机，用以在图案基板上察看候选损坏的位置，该基板划定平面，并在那里撷取该位置至少一处图像，该照相机定义光学轴，该至少一处图像以偏移该光学轴至少一个光源的照明所照射，该照明沿着相对于该平面的平面中互不平行的至少第一及第二照明路径提供，其中沿着第一照明路径所提供照明的回应以及沿着第二照明路径所提供照明的回应是可区分的；以及损坏分类器，用以接收该至少一处图像，以及在其中将由刻痕所导致的候选损坏或额外材料所导致的候选损坏彼此区分出来及/或由其它种类的候选损坏中区分出来。

主权项

1.一种用以检视具有显微导体的图样成型装置的检视系统，其特征是包含：照相机，用以在图案基板上察看候选损坏的位置，上述基板划定平面，并在那里撷取上述位置的至少一处图像，上述照相机定义光学轴，上述至少一处图像以偏移上述光学轴的至少一个光源的照明所照射，上述照明沿着相对于上述平面的平面中互不平行的至少第一及第二照明路径提供，其中沿着第一照明路径所提供照明的回应以及沿着第二照明路径所提供照明的回应是可区分的；以及损坏分类器，用以接收上述至少一处图像，以及在其中将在上述图案基板的外来粒子所导致的候选损坏由其它种类的候选损坏中区分出来。