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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR REMOVING TRACE AMOUNTS OF LIQUID FROM SUBSTRATES DURING SINGLE-SUBSTRATE PROCESSING
摘要
申请公布号 EP1812763(A1) 申请公布日期 2007.08.01
申请号 EP20050818673 申请日期 2005.11.03
申请人 AKRION TECHNOLOGIES, INC. 发明人 WALTER, ALAN
分类号 F26B5/08 主分类号 F26B5/08
代理机构 代理人
主权项
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