| 发明名称 | 改善彩色光阻特性的方法及彩色光阻剂 | ||
| 摘要 | 本发明主要是在含有既定原色颜料(Pigment)的彩色光阻当中添加水溶性单体(water－soluble Monomer)和非水溶性单体(water－insoluble Monomer)的混合物，藉以提升既定光阻微影制程的显影速度，并且进一步获致相同或更好的残膜率百分比；以及，藉由水溶性单体(water－soluble Monomer)和非水溶性单体(water－insoluble Monomer)混合物的添加，达到提升显影图像(Developing pattern)对比(Contrast)的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN101008781A | 申请公布日期 | 2007.08.01 |
| 申请号 | CN200610001851.3 | 申请日期 | 2006.01.24 |
| 申请人 | 新应材股份有限公司 | 发明人 | 郭光埌;戴伟仁;温世豪 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/033(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周春发 |
| 主权项 | 1、一种改善彩色光阻显影速度的方法，是在含有既定原色颜料(Pigment)添加水溶性单体(water-solubleMonomer)和非水溶性单体(water-insoluble Monomer)的混合物，藉以提升既定光阻微影制程的显影速度。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县龙潭乡三和村新和路455号 | ||