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发明名称 THERMAL MANAGEMENT OF DIELECTRIC COMPONENTS IN A PLASMA DISCHARGE DEVICE
摘要
申请公布号 EP1812959(A2) 申请公布日期 2007.08.01
申请号 EP20050808917 申请日期 2005.10.14
申请人 ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. 发明人 MAUCK, JUSTIN;DILLON, STEVE;GONZALEZ, JUAN, JOSE;SHABALIN, ANDREW
分类号 H01L21/306;C23C16/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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