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发明名称 IDEAL OXYGEN PRECIPITATING SILICON WAFERS WITH NITROGEN/CARBON STABILIZED OXYGEN PRECIPITATE NUCLEATION CENTERS AND PROCESS FOR MAKING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100745308(B1) 申请公布日期 2007.08.01
申请号 KR20047009764 申请日期 2002.12.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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