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发明名称
Method for fabricating metal plug of semiconductor device
摘要
申请公布号
KR100745066(B1)
申请公布日期
2007.08.01
申请号
KR20050024592
申请日期
2005.03.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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