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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TREATING L0W K DIELECTRIC LAYERS TO REDUCE DIFFUSION
摘要
申请公布号 KR100743775(B1) 申请公布日期 2007.07.30
申请号 KR20010042623 申请日期 2001.07.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/32;C23C16/56;H01L21/3105;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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